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原子力顯微鏡(AFM)可以做什么?解讀原子力顯微鏡的用途

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AFM(原子力顯微鏡),提供原子或近原子解析度的表面形貌圖像,能夠定量樣品的表面粗糙度到"Å"等級。除了提供表面圖像之外,AFM也可以提供形態的定量測量,如高度差和其他尺寸。另外,磁力顯微鏡(MFM)是AFM一種應用,能夠繪製樣品的磁域圖。

原子力顯微鏡的應用

AFM分析方法應用的案例包括:

  • 評估晶片處理前后的差異(SiO2, GaAs, SiGe等)
  • 確定生物醫學設備的處理效果(例如電漿處理),如隱形眼鏡、導管和涂層支架
  • 檢查表面粗糙度對附著力的影響
  • 評估圖案晶圓的溝槽形狀與清潔度
  • 檢查形態是否是表面陰霾的來源

原子力顯微鏡的應用范圍

  • 提供三維表面形態影像,包括表面粗糙度、粒徑大小、高度差和間距
  • 其他樣品特性的成像,包括磁場、電容、摩擦力和相位

原子力顯微鏡的應用行業

  • 航太工業
  • 汽車
  • 生物醫學/生物技術
  • 化合物半導體
  • 資料存儲
  • 國防
  • 顯示器
  • 電子領域
  • 工業產品
  • 照明設備
  • 製藥
  • 太陽能
  • 聚合物
  • 半導體
  • 光電行業
  • 電信

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